[19a-A12-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[19a-A12-8] ガスクラスターイオンビームによる有機デバイスの深さ方向SIMS分析

^○中川駿一郎¹，瀬木利夫^1,2，青木学聡^1,2，松尾二郎^1,2 (京大院工¹，JST-CREST²)

キーワード：SIMS,Cluster ion beam