[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[19a-B4-10] PZT薄膜の最適化による自己検知圧電MEMSカンチレバーの出力電圧向上

^○小林健¹，小山昌二²，牧本なつみ¹，舟窪浩³，前田龍太郎¹ (産総研¹，ヒロセ電機²，東工大³)

キーワード：PZT,MEMS,静電気センサ