12:00 〜 12:15
[19a-B4-12] MEMS Fabry-Perot型表面応力センサの光学特性評価
キーワード：バイオセンサ,Fabry-Perot
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 B4 (TC2 1F-106)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 B4 (TC2 1F-106)
12:00 〜 12:15
キーワード：バイオセンサ,Fabry-Perot