[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

▲ [19a-B4-2] 単結晶ダイヤモンドナノマシン共振特性のサイズ依存性

^○廖梅勇¹，戸田雅也²，Liwen Sang¹，井村将隆¹，菱田俊一¹，田中秀治²，小出康夫¹ (物質・材料研究機構¹，東北大院工²)

キーワード：ダイヤモンド,ナノマシン