[19a-C1-1~11] 8.2 プラズマ診断･計測

△ [19a-C1-5] 反応性プラズマにおけるナノ粒子量空間分布の変調周波数依存性

^○（M2）森田康彦¹，岩下伸也²，山下大輔¹，内田儀一郎¹，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大シス情¹，ルール大²)

キーワード：ナノ粒子