[19a-C1-1~11] 8.2 プラズマ診断･計測

[19a-C1-8] 小口径放電管内で13.56 MHz RF スイッチングにより生成された酸素負イオンのレーザー光脱離法による計測

^○清原彰¹，比村治彦¹，三瓶明希夫¹，岡田成文²，政宗貞夫¹ (京都工芸繊維大¹，阪大²)

キーワード：酸素負イオン,レーザー光脱離法