09:30 〜 09:45
[19a-C10-1] ゼオライト含有low-kポーラスシリカ膜における前駆体液遠心分離処理の効果
キーワード：zeolite,遠心分離
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.4 配線技術
[19a-C10-1~9] 13.4 配線技術
2013年9月19日(木) 09:30 〜 12:00 C10 (TC3 2F-207)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.4 配線技術
2013年9月19日(木) 09:30 〜 12:00 C10 (TC3 2F-207)
09:30 〜 09:45
キーワード：zeolite,遠心分離