[19a-C10-1~9] 13.4 配線技術

[19a-C10-4] 原子間力顕微鏡によるCu配線腐食の結晶方位依存性の評価

^○尾形奨一郎¹，小林成貴¹，高東智佳子²，嶋昇平²，福永明²，淺川雅³，福間剛士^1,3,4 (金大院¹，荏原製作所²，金大バイオAFMセ³，ACT-C/JST⁴)

キーワード：原子間力顕微鏡,腐食,結晶方位