[19a-C10-1~9] 13.4 配線技術

△ [19a-C10-8] C2W三次元集積のための自己組織化静電仮接合の評価

^○（D）橋口日出登¹，福島誉史²，裵志哲²，木野久志¹，李康旭²，田中徹^1,3，小柳光正² (東北大院工¹，東北大未来研²，東北大院医工³)

キーワード：三次元集積化技術