2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[19a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 C8 (TC3 2F-201)

09:15 〜 09:30

[19a-C8-2] 電子捕獲履歴現象を利用した多値ランダムテレグラフノイズの解析(I):関与している酸化膜トラップの数と荷電状態の判定

土屋敏章1,田村直義2,榊谷明仁2,園田賢一郎2,亀井政幸2,山川真弥2,桑原純夫2 (島根大総合理工1,半導体理工学研究センター2)

キーワード:RTN