[19a-D1-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-D1-5] テトラ組成PZT薄膜を用いた振動センサへの電圧印加による影響

^○鈴木靖弘^1,2，牧本なつみ²，舟窪浩³，前田龍太郎²，小林健² (茨大院¹，産総研²，東工大³)

キーワード：PZT,振動センサ