[19a-P2-1~29] 5 光エレクトロニクス（ポスター）

△ [19a-P2-22] 歪SiGeキャリア注入型光変調器に向けた低温パシベーション

^○（D）金栄現，韓在勲，竹中充，高木信一 (東大院工)

キーワード：光変調器,表面パッシベーション,Optical modulator