[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術

[19a-P5-14] Alダメージレス、シリコン異方性エッチング剤の開発

^○田湖次広^1,2，市野邦男²，木村真弓¹，勇謙司¹ (林純薬工業¹，鳥取大院工²)

キーワード：MEMS,Ｓｉ,wet etching