[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術

[19a-P5-5] 可視レーザ照射による多結晶シリコン薄膜の成長と結晶欠陥密度の関係

^○河本直哉¹，只友一行¹，部家彰²，松尾直人² (山口大院理工¹，兵庫県立大院工²)

キーワード：多結晶シリコン