[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術

[19a-P5-9] 弾道電子の直接還元効果を用いた半導体薄膜堆積

^○伊藤光樹，須田隆太郎，八木麻実子，小島明，Mentek Romain，白樫淳一，越田信義 (農工大・院･工)

キーワード：電子源,薄膜堆積,還元