[19a-P7-1~14] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [19a-P7-3] 界面顕微光応答法によるn-GaNショットキー接触の2次元評価

^○山本晋吾¹，青木俊周¹，金田直樹²，三島友義²，塩島謙次¹ (福井大院工¹，日立電線²)

キーワード：顕微光応答法,n-GaN,ショットキー