2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[19a-P8-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P8 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P8-16] GaInAsP系結晶再成長のための直接貼付InP/Si基板接合界面における電気特性評価

金谷佳則,松本恵一,Xinxin Zhang,下村和彦 (上智大理工)

キーワード:直接貼付法,InPテンプレート,MOVPE