[19a-P9-1~10] 15.6 IV族系化合物

▲ [19a-P9-2] ホール測定による高Al濃度４H-SiC厚膜の電気特性評価

^○紀世陽¹，児島一聡¹，石田夕起¹，齊藤新吾¹，加藤智久¹，吉田貞史¹，土田秀一²，奥村元¹ (産業技術総合研究所　¹，電力中央研究所²)

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