2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

2013年9月19日(木) 13:30 〜 17:00 A12 (TC1 3F-316)

15:45 〜 16:00

[19p-A12-9] 高空間分解能クラスターSIMS用プローブの形成

鳥居聡太,松尾二郎,瀬木利夫,青木学聡 (京大工)

キーワード:クラスターイオンビーム