[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-11] メニスカス力を利用した中空構造シリコン膜の低温転写

^○（DC）酒池耕平，中村将吾，赤澤宗樹，福永貴司，森崎誠司，林将平，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：転写,フレキシブル,メニスカス力