[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

△ [19p-B4-13] SAB法によるSi/Si接合特性におけるArプラズマ照射効果

^○森本雅史，梁剣波，西田将太，重川直輝 (大阪市立大工)

キーワード：SAB,表面活性化ボンディング,suraface acitivated bonding