[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-6] 電子線照射による非晶質Ge薄膜のAu誘起成長の促進

^○（B）茂藤健太，崎山晋，酒井崇嗣，中嶋一敬，高倉健一郎，角田功 (熊本高等専門学校)

キーワード：結晶成長