[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-7] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるa-Ge膜の高速横方向結晶化

^○（M2）上倉敬弘，林将平，森崎誠司，山本将悟，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：熱プラズマジェット,結晶化,ゲルマニウム