[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-9] ヘリウムイオン顕微鏡（HIM)観察下でのSiO₂からのルミネッセンス評価

^○小川真一¹，飯島智彦¹，杉江隆一²，川崎直彦²，大塚裕二² (産総研¹，東レリサーチセンター²)

キーワード：ルミネッセンス,ヘリウムイオン顕微鏡,ダメージ