[19p-C8-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[19p-C8-18] コア-シェルゲート構造によるショットキー障壁トンネルFETの特性改善

^○橋本修一郎¹，鹿浜康寛¹，渡邉孝信^1,2 (早大理工¹，早大ナノ機構²)

キーワード：トンネルFET,ショットキー障壁,コアシェルゲート