[19p-C8-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

△ [19p-C8-5] 三角形状に配置したシリコン三重量子ドットのチャージセンシング

^○（M2）溝口来成¹，小寺哲夫^1,2,3，堀部浩介¹，河野行雄¹，荒川泰彦^2,4，小田俊理¹ (東工大量子ナノ研セ¹，東大ナノ量子機構²，さきがけ-JST³，東大生研⁴)

キーワード：量子ドット,シリコン