16:15 〜 16:30
[19p-D7-12] ポーラスアルミナマスクによるGaAs(001)基板上へのパターンの転写
キーワード：陽極酸化,ポーラスアルミナ
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術
[19p-D7-1~17] 14.3 電子デバイス・プロセス技術
2013年9月19日(木) 13:00 〜 17:45 D7 (MK 3F-302)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術
2013年9月19日(木) 13:00 〜 17:45 D7 (MK 3F-302)
16:15 〜 16:30
キーワード：陽極酸化,ポーラスアルミナ