2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-D7-1~17] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2013年9月19日(木) 13:00 〜 17:45 D7 (MK 3F-302)

14:15 〜 14:30

[19p-D7-5] SiN/SiO2サイドウォールプロセスを用いたft>500GHz InP/InGaAs HBT技術

○柏尾典秀，栗島賢二，井田実，松崎秀昭 (NTTフォトニクス研)

キーワード：HBT