[19p-P2-1~19] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19p-P2-18] VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコン中のトラップの評価

^○近藤信啓，舩木健伍，中峯嘉文，宇佐美浩一，小寺哲夫，河野行雄，小田俊理 (量子ナノエレ研セ)

キーワード：シリコン,ナノ結晶