[20a-A8-1~12] 5.3 光制御

[20a-A8-8] SiOx薄膜スラブを用いたモード制御によるSiテーパ-SSCの構造トレランスの拡大

^○高橋博之^1,2，羽鳥伸明^1,2，清水隆徳^1,2，石坂政茂^1,2，岡野誠^1,3，堀川剛^1,3 (PECST¹，PETRA²，産総研³)

キーワード：スポットサイズ変換器,SiOx,トレランス