[20a-B4-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[20a-B4-10] 局所クリーン化ミニマルPLADエア循環システム

^○谷島孝¹，ソマワン クンプアン^1,2，前川仁^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

キーワード：ミニマルファブ,パーティクル