2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年9月20日(金) 09:00 〜 12:00 B5 (TC2 2F-201)

09:45 〜 10:00

[20a-B5-4] スパッタ成膜AlN上への単結晶p-i-nナノコラム作製

林宏暁1,尾崎泰一朗1,松山勇1,岸野克巳1,2 (上智大1,上智ナノテク2)

キーワード:スパッタ膜上単結晶,窒化物半導体,MBE成長