[20a-C11-1~11] 9.3 ナノエレクトロニクス

[20a-C11-5] SiO援用によるAlトンネル接合の面積縮小化とクーロンブロッケイド温度計への応用

^○（M2）牛澤旭人，滝口将志，島田宏，守屋雅隆，水柿義直 (電通大情報理工)

キーワード：単一電子帯電効果,斜め蒸着法,微小トンネル接合