[20a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[20a-C8-1] 自己組織化リソグラフィによるコンタクトホール形成技術

^○川西絢子，清野由里子，菅野正洋，加藤寛和，佐藤寛暢，小林克稔，米満広樹，大村光広，笠原佑介，今村翼，櫻井典子，東司 (東芝)

キーワード：Directed Self-Assembly,自己組織化リソグラフィ