[20a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[20a-C8-5] 恒久保存メモリ「デジタルロゼッタストーン」の加速耐湿性試験による保護膜の評価

^○松本健俊，赤井智喜，今井繁規，小林光 (阪大産研, CREST-JST)

キーワード：恒久保存メモリ,デジタルロゼッタストーン,加速耐湿性試験