[20a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[20a-C8-6] 超小型球殻状タンパクを利用した積層ナノドット型フローティングゲートメモリの作製

^○上武央季^1,2，上沼睦典²，石河泰明^1,2，山下一郎^1,2，浦岡行治^1,2 (奈良先端大¹，CREST²)

キーワード：フローティングゲートメモリ,ナノドット,Dps