[20a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス／集積化技術

▲ [20a-C8-9] Analysis of Photoresponse in SOI FinFET

^○（D）Dedy Putranto^1,3，遠藤和彦²，昌原明植²，佐藤弘明¹，小野篤史¹，Purnomo Priambodo³，Djoko Hartanto³，猪川洋¹ (静岡大電子研¹，産総研ナノエレ部門²，インドネシア大電気工³)

キーワード：SOI FINFET,Photoresponse Characteristics,Single-Photon Detection