[20a-C9-1~12] 13.1 基礎物性・評価

△ [20a-C9-10] 有限要素法による異種の構造から導入される重畳応力の評価

^○富田基裕^1,2，小瀬村大亮¹，小椋厚志¹ (明大理工¹，学振特別研究員DC²)

キーワード：歪Si,シミュレーション