2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・評価

[20a-C9-1~12] 13.1 基礎物性・評価

2013年9月20日(金) 09:00 〜 12:15 C9 (TC3 2F-202)

09:15 〜 09:30

[20a-C9-2] 不純物添加/無添加Si ナノ粒子のラマン分光法による結晶・非晶解析

百瀬美穂1,2,平坂雅男1,古川行夫2 (帝人1,早大 先進理工2)

キーワード:ラマン,シリコン,ナノ粒子