[20a-D6-1~11] 14.1 探索的材料物性

[20a-D6-6] Fe層とSi層の積層スパッタにより形成された\beta-FeSi₂のキャリア密度に関する研究

^○嘉藤貴史¹，稲村太一¹，佐々木亮人³，青木克明³，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，東芝マテリアル³)

キーワード：FeSi2,環境半導体,キャリア密度