[20a-D7-1~11] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20a-D7-9] AlGaN緩衝層がGaNショットキー接合特性に与える影響

^○（M2）馬万程¹，橋詰保^1,2 (北大量集センター　情報科学研究科¹，JST-CREST²)

キーワード：AlGaN 緩衝層,GaNショットキー接合