[20p-A8-1~8] 5.3 光制御

[20p-A8-3] 同心円状金属回折格子付SOIフォトダイオードにおける分光感度の偏光依存性

^○佐藤弘明^1,2，岩田将平²，小野篤史^1,2，猪川洋^1,2 (静岡大電子研¹，静岡大工²)

キーワード：回折格子,偏光依存性,SOIフォトダイオード