[20p-D7-1~8] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20p-D7-1] GaN基板へのMgイオン注入の基礎検討

^○及川拓弥¹，金田直樹²，加藤茂樹¹，三島友義²，中村徹¹ (法政大¹，日立電線²)

キーワード：Mg注入,GaN