[20p-D7-1~8] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20p-D7-3] AlGaN/GaN上のTiC電極の電流電圧特性の熱処理温度依存性

^○松川佳弘¹，岡本真里¹，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生¹，斎藤渉³，岩井洋¹，名取研二¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，東芝セミコンダクター&ストレージ社³)

キーワード：AlGaN/GaN,コンタクト抵抗,TiC