[20p-D7-1~8] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20p-D7-5] ショットキーゲート材料によるAlGaN/GaNの容量電圧特性への影響

^○宗清修¹，川那子高暢²，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，筒井一生²，名取研二¹，若林整¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：AlGaN/GaN,ショットキーゲート材料