[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-16] △基板高速回転型MOCVDによる高品質ZnO薄膜の成長 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○平儀野雄斗¹，古林寛²，森山恭多¹，藤田恭久¹ (島根大院総理¹，島根大プロジェクト研究推進機構²)

キーワード：酸化亜鉛、薄膜