[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-18] 電着法を用いたn 型GaN 表面上への酸化亜鉛の厚膜作製 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

妻神光輝，池上潤平，^○宇野和行，田中一郎 (和大システム工)

キーワード：酸化亜鉛、電気化学堆積法