[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-10] △ハイドロフルオロカーボン（HFC）プラズマによるSiNエッチングにおける表面ポリマー形成過程の解析 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○（M1）三宅啓太¹，礒部倫郎¹，深沢正永²，辰巳哲也²，浜口智志¹ (阪大工¹，ソニー²)

キーワード：SiN、シミュレーション