[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-13] △酸素ガスクラスタービーム照射によるシリコン表面酸化プロセスの分子動力学シミュレーション (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○（D）溝谷浩平，礒部倫郎，浜口智志 (阪大院工)

キーワード：ガスクラスタービーム