[27p-A6-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[27p-A6-15] △カーボン中間層挿入による金属/n型ダイヤモンド界面の接触抵抗低減 (5:45 PM ～ 6:00 PM)

^○（D）松本翼^1,2,3，白田和也^2,3，加藤宙光^2,3，徳田規夫^2,3,4，竹内大輔^2,3，牧野俊晴^2,3，小倉政彦^2,3，大串秀世^2,3，山崎聡^1,2,3 (筑波大¹，産総研²，CREST³，金沢大⁴)

キーワード：ダイヤモンド、コンタクト、グラフェン